设备特点：

u 整机尺寸520mm（W）×515mm（D）×430mm（H）

u 10寸触摸屏操作（进口ELO电容触摸屏）

u 射频电源功率范围5w~300w

u 扣手式面板设计，方便维护与升级

u 6寸样品台，工艺性能稳定，片内片间均匀性±5%

u 菜单化工艺，可支持200条以上工艺菜单

u 自主开发的全自动控制系统，支持一键运行操作

适用工艺：