设备特点：

u 整机尺寸560mm（W）×515mm（D）×430mm（H）

u 10寸触摸屏操作（进口ELO电容触摸屏）

u 射频电源功率范围5w~300w

u 扣手式面板设计，方便维护与升级

u 工艺性能稳定，片内片间均匀性±5%

u 菜单化工艺，可支持200条以上工艺菜单

u 自主开发的全自动控制系统，支持一键运行操作

适用工艺：

去除光刻胶残胶等；

清洗半导体元件、印刷线路板；

清洗生物芯片、微流控芯片；

清洗沉积凝胶的基片；

高分子材料表面修饰；

牙科材料、人造移植物、医疗器械的消毒和杀菌；

改善粘接光学元件、光纤、生物医学材料、宇航材料等所用胶水的粘和力。