1

抽气方式

正下方，完全对称

2

样片尺寸

8寸

3

RF功率源

0~300W/500W/600W，自动匹配，反射功率≤3w

4

分子泵

抽速≥ 500L/s

5

前级泵

干泵≥ 10L/s

6

工艺调压

0~1Torr （自动控压为选配）

7

真空测量

电容薄膜真空计，压力开关（进口Inficon）

8

气体种类

O2  Ar  SF6  CF4  CHF3（标配3路+1路调压）

9

气体量程

0~100/200/300sccm（进口Horiba，金属密封，数字通讯）

10

样片控温

冷循环水（10°C ~室温）

11

控制系统

自主研发，扁平化界面设计，自动化流程

带菜单，支持多步工艺，支持一键运行

日志与数据记录，异常报警与自动处理机制，三级管理权限

12

交互界面

进口ELO 15寸电容触摸屏，角度可调

13

工艺腔内衬

有

14

特色设计

两级匀流环结构，样品防丢

15

开盖方式

气动旋转式开盖

16

数据导出

USB3.0数据导出接口

17

蚀刻材料

硅基材料：Si  Poly-Si  SiNx  SiO2  SiC

有机材料：Polymer  PR  SU8  PMMA

炭基材料：金刚石，类金刚石，石墨烯