1

抽气方式

正下方，完全对称

2

工艺腔体

铝材质，表面硬质氧化处理

3

电极尺寸

电极尺寸≥240mm

4

样片尺寸

支持8寸整片及以下尺寸样品

5

RF功率源

13.56MHz，5~300W，自动匹配，反射功率≤3w

6

涡轮分子泵

抽速≥ 300L/s

7

前级干泵

抽速≥ 600L/min

8

极限真空

本底真空<3×10-4 Pa

9

工艺调压

0~2Torr，蝶阀自动控压

10

真空测量

电容薄膜真空计，压力开关（进口Inficon）

11

气体种类

O2  Ar  SF6  CF4  CHF3  N2

12

气体量程

0~300sccm（进口Horiba，金属密封，数字通讯）

13

样片控温

冷循环水（10°C ~室温），精度±0.1℃

14

控制系统

自主研发，扁平化界面设计，自动化流程

带菜单，支持多步工艺，支持一键运行

日志与数据记录，异常报警与自动处理机制，三级管理权限

15

交互界面

进口ELO 15寸电容触摸屏，带固定臂，角度可调

16

特色设计

样品防丢

17

开盖方式

气动开盖

18

数据导出

USB3.0数据导出接口

19

蚀刻材料

硅基材料：Si  Poly-Si  SiNx  SiO2  SiC

有机材料：Polymer  PR  SU8  PMMA

炭基材料：金刚石，类金刚石，石墨烯